■主結構加重設計(jì),減震增穩；

■高(gāo)精度直線電(diàn)機(jī)；

■激光(guāng)功率實時(shí)檢測；

■全閉環幹涉儀數(shù)據補償；

■人(rén)機(jī)界面友(yǒu)好(hǎo),軟體(tǐ)通(tōng)用(yòng•₩φ↔)性強；

■雙面/單面打碼設計(jì)；

■通(tōng)孔/盲孔同時(shí)滿足；

■自(zì)研軟件(jiàn),開(kāi)放(fàng±≠₽₽)接口,實時(shí)對(duì)接MES系統；

■全面安全防護設計(jì)。